シリコン酸化膜表面を模した系でのTMAの反応解析

テーマ概要 半導体やシリカゲル表面への有機金属化合物の吸着は、成膜や有機触媒合成に関わる一連の反応において重要なステップとなります[1,2]。 その反応機構に関する物理化学的な解析は、最適な原料分子の選択に役立てることができますが、結晶相に応じたさまざまな固体表面で反応機構を解析することは、計算資源 … 続きを読む シリコン酸化膜表面を模した系でのTMAの反応解析