テーマ概要 半導体製造工程では、Si基板上に残渣を残さない高い清浄度が求められており、新たな薬液の適用が検討されています。一方で、膨大な材料候補を実験的に評価・選定するには、時間的・金銭的コストが大きく、効率的な検討が困難です。 広大な材料空間の探索手法としてベイズ最適化 (BO) による逐次実験計 … 続きを読む 分子計算と機械学習によるSi表面に対する低吸着エネルギー分子のデータ駆動型探索