CVD反応分科会 第7回講習会「CVD・ALDプロセスの基礎」に登壇

公益社団法人 化学工学会 反応工学部会 CVD反応分科会が主催する第7回講習会「CVD・ALDプロセスの基礎」（6月26日（金）・オンライン開催）にて、Matlantis株式会社 テクニカルソリューション部の松本 皓太が講演いたします。

本講習会は、CVD・ALDプロセスの基礎を体系的に学ぶことを目的とした、学生や若手社員などの初学者向け講習会です。CVD反応、反応速度解析、原料選択、装置設計、ALD・ASDの基礎と応用に加え、計算科学の進展によりプロセス開発ツールとして注目される表面反応解析シミュレーションについても取り上げられます。

Matlantisからは、汎用機械学習ポテンシャルを用いたCVD・ALD表面反応解析について、基礎から実例までをご紹介します。

本講習会はオンライン開催となっております。CVD・ALDプロセスや表面反応解析にご関心のある方は、ぜひご参加をご検討ください。

参加申込締切は2026年6月22日（月）正午です。

発表タイトル

「汎用機械学習ポテンシャルを用いたCVD・ALD表面反応解析の基礎と実例」

本講演では、機械学習ポテンシャル、反応経路探索、遷移状態理論、速度定数、GRRM、表面反応、分子動力学などをキーワードに、CVD・ALDプロセスにおける表面反応解析へのMatlantisの活用について、基礎事項を交えながらご紹介します。

発表者

開催概要

イベント名：CVD反応分科会 第7回講習会「CVD・ALDプロセスの基礎」
日時：2026年6月26日（金）8:45〜17:00
会場：オンライン（Zoom）
主催：公益社団法人 化学工学会 反応工学部会 CVD反応分科会
共催：CVD研究会、Cat-CVD研究会
協賛：応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会、応用物理学会原子層プロセス研究会

Matlantis講演時間：12:30〜14:00

イベント詳細・お申込み

イベントの詳細およびお申込みは、下記ページよりご確認ください。
https://cvd7seminar.peatix.com/