第18回分子科学討論会 出展のお知らせ

PFCCは2024年9月18日（水）より京都で開催される分子科学討論会に参加いたします。

学会情報

会期：2024年9月18日（水）～21日（土）
会場：京都大学吉田キャンパス

展示情報

日時：各日 10:00 – 17:00
展示会場：京都大学吉田キャンパス吉田南構内　国際高等教育院棟２F （ポスター会場１）

ポスター発表情報

日時：第3日 9月20日（金）13:30 – 15:05
発表会場：P会場
発表タイトル：汎用ニューラルネットワークポテンシャルを用いたウェットエッチング反応機構解析
発表概要：
半導体製造技術の微細化に伴い、基板表面の酸化膜を除去するための希フッ酸（HF）を用いたウェットエッチングプロセスの改善が重要となっている。ReaxFFを用いたMDやDFT計算など、いくつかの先行研究があるが、実際のウェットエッチング環境に近い、複数の水分子が存在する状態での素反応は報告されていない。
近年、ニューラルネットワークポテンシャル(NNP)の開発が盛んに行われており、DFTレベルでの精度で高速に数百原子程度の反応経路検討が可能になっている。我々が開発したPFPは汎用性を重視したNNPの一つであり、表面反応や多元系での反応検討において多くの報告例がある。
PFPを用いることで高速に反応経路の検討が可能だが、フッ素化以外の重要な過程、例えば分子やH+移動なども含め、複雑な反応を網羅的に検討することは依然として困難である。そこで、分子の相対位置変化と分子間の反応経路の自動探索を実現する手法であるSC-AFIR法を使用し、網羅的な反応の検討を行った。
本発表では反応経路探索で得られたフッ素化過程の解析結果を報告する。

発表者