第85回応用物理学会秋季学術講演会にて発表

PFCCは2024年9月16日（月）より新潟で開催される第85回応用物理学会秋季学術講演会て講演いたします。

学会情報

会期：2024年9月16日（月）～20日（金）
会場：朱鷺メッセほか2会場&オンライン

発表情報

日時：9月18日（水）14:00 ~ 14:15
発表会場：朱鷺メッセ会議棟 A23
発表タイトル：汎用機械学習力場によるALD precursorの反応解析と分子設計
発表概要：
ALD（Atomic Layer Deposition: 原子層堆積法）は、半導体デバイス製造において金属薄膜を形成する為のプロセスで広く用いられている。今回は、汎用機械学習力場（PreFerred Potential）を使ってALD precursorの表面化学反応メカニズム解析を行い、そこで得られた知見から、より効果的なALD precursorの分子設計方法について提案する。